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1．有良好的脫色效果 因為臭氧具有強大的氧化分解作用，能將活性、陽離子、酸性、直接、分散等各種染料分解，獲得幾乎完全脫色的效果。對分解產物還有許多不了解的問題，但知道染料中的不飽和鍵被切斷后，生成有機酸和醛。一般認為含有醌結構的染料除配基以外，其它的助色團均被分解；但對不溶于水的染料(如分散、還原、硫化、涂料等染料)的脫色效果則很差。
2．不生成污泥 同其它處理方法比較，臭氧單獨處理的最大特點就是只生成分解物，而完全不生成污泥。臭氧法與其它處理法合用時，例如與凝聚法合用時，雖生成污泥，但污泥的數量要比單用凝聚法時少得多；臭氧法與活性碳吸附法合用時完全沒有污泥生成。可知與臭氧法合用可大幅度地減少污泥或有可能做到無污泥化。
3．廢水的PH值不需調整 因pH對臭氧的氧化分解反應的影響很小，可說在大多數情況下，廢水的pH值不需調整。
4．臭氧制造出較筒單 因制造臭氧的原料是空氣(或氧氣)，故在任何地方都能生產。 不需考慮原料的輸送貯藏與管理等問題。工本只有設備費和電費。臭氧制造因缺乏大型設備，故價格較高。最近已在大幅度降低，這對臭氧處理法的發展起著巨大的促進作用。
5．自動化和現代化 因為臭氧是用電力方法制造的，故對臭氧生產量的調整與設備的運轉操作容易控制，能做到自動化和現代化。
6．臭氧處理設備與設備占地面積均小 臭氧處理廢水的時間約為10一30分鐘，比其它處理方法的時間短。因此處理設備可做成小型，加裝到原有設備上時可提高處理效果，同時不需要擴大占地面積及變更計劃。
7．不會產生二次公害 臭氧的分解物是氧， 廢水中即使合有過量臭氧，在短時間內能迅速分解，尤其在濃厚污濁的廢水中臭氧的分解速度大， 不會產生過剩臭氧的二次公害。
8．臭氧具有強大的殺茵作用 臭氧對任何病菌和特殊細菌都具有強大的殺菌力和阻止茵體活化的能力。對處理水的無菌化效果很好。
如將臭氧處理與凝聚法結合進行，對混合染料廢水(即既有水溶性染料，也有非水溶性染料)的脫色效果，更可充分發揮。而且綜合處理要比分開處理既節約藥劑的用量，又提高了脫色效果。
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